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潔凈室（又稱無塵室、潔凈室）是指在一定的空間內去除空氣中的細顆粒物、有害空氣、細菌等污染物，并達到室內溫度、潔凈度、室內壓力、風速、指氣流分布。將噪音、振動、照明和靜電控制在一定范圍內，給予房間一個專門設計的空間。也就是說，無論外界空氣條件如何變化，室內都具有保持潔凈度、溫濕度、壓力等原有性能要求的特點。
潔凈室最重要的功能是控制產品（電子芯片等）所接觸的大氣的潔凈度、溫度和濕度，并在有利的環境空間中生產和制造產品。這個空間稱為潔凈室。根據國際慣例，無塵等級主要以每立方米空氣中大于粒徑標準的顆粒物數量來定義。也就是說，所謂的無塵狀態并不是100%無塵，而是以很小的單位進行管理。當然，根據這個標準，符合粉塵標準的顆粒物與一般的粉塵相比已經非常小了，但即使是少量的粉塵也會對光學結構產生非常大的負面影響，在生產中，提出了更高的要求。放置在潔凈室。
粒徑0.3微米以下的細粉塵控制在每立方米3500個以下，達到國際防塵標準A級。芯片級生產加工的無塵標準對粉塵的要求比A級更高，這樣高的標準主要用于一些更高級別芯片的生產。 0.5M以下的顆粒數量嚴格控制在每立方英寸1000個顆粒以內，業內俗稱1K級別。
空： 潔凈室（設備）已建成并可供使用。包含所有相關服務和功能。然而，該設施中沒有操作員操作的設備。


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